合肥先微半导体材料有限公司高纯电子气体新材料项目 环境影响报告书和公众参与说明报批前公示

1、环境影响报告书信息公示说明

合肥先微半导体材料有限公司高纯电子气体新材料项目位于合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角。拟建设电子气提纯生产线、准分子激光气体混配生产线、电子气分装生产线、半导体级高纯气体纯化器生产线和超洁净钢瓶处理线；项目实施后高纯三氟化硼（BF3）提纯年产300吨；超纯四氯化硅（SiCl4）提纯年产300吨；年产准分子激光气28000瓶，（其中193波长激光气0.95%F2+3.5%Ar+Ne\13.5%Ar+10ppmXe+Ne，各3000瓶；248波长激光气0.95%F2+1.25%Kr+Ne\1.25%Kr+Ne，各5000瓶；308波长激光气4.5%HCl+1%H2+Ne\0.5%HCl+Ne\100ppm-10%H2+Ne，各4000瓶）；高纯氧气（O2）分装年产1000吨；高纯氢气（H2）分装年产40000瓶；高纯八氟丙烷（C3F8）分装年产300吨；高纯一氧化二氮（N2O）分装年产3000吨；超纯二氧化碳（CO2）分装年产10000吨；高纯氮（N2）分装年产3000吨；高纯氩（Ar）分装年产3000吨；高纯氦（He）分装年产20000瓶；液氦分装年产50吨；半导体级高纯气体纯化器年产1000套；超洁净钢瓶年处理量20000只。另进行甲烷（CH4）、硅烷（SiH4）、氯气（Cl2）高纯电子气体产品储存经营，年经营量分别为50t/a、10t/a、50t/a。

根据《环境影响评价公众参与办法》，现将项目环评报告及公众参与说明（见附件）进行报批前公示。

2、建设单位及联系方式

建设单位：合肥先微半导体材料有限公司

联系电话：13665699325

联系人：刘总

联系地址：合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角

3、环评单位及联系方式

评价机构：合肥市斯康环境科技咨询有限公司

联系方式：0551-65614551

联系人：高工

联系地址：合肥市庐阳区蒙城北路108号

链接：https://pan.baidu.com/s/1RSTbTrQ8HDlcRqAiQn5KkQ

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