合肥先微半导体材料有限公司高纯电子气体新材料项目（重新报批）环境影响报告书报批前公示

一、环境影响报告书信息公示说明

合肥先微半导体材料有限公司高纯电子气体新材料项目（重新报批）位于合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角。

合肥先微半导体材料有限公司拟投资50205.9万元建设生产线，项目实施后新增生产能力：

1、纯化：四氯化硅（4N）300吨/年、三氯化硼（5N）200吨/年、二氯硅烷（4N）200吨/年、三氟化氮（5N）500吨/年、氮气（6N）300吨/年、氩气（6N）300吨/年、氦气（6N）10吨/年、二氧化碳（5N）100吨/年、氧气（6N）200吨/年、氢气（6N）20吨/年；

2、混配：磷烷+氢气混合气3000瓶/年、乙硼烷+氢气混合气3000瓶/年、氟气+氮气混合气（1900瓶/年，100台管束车/年）、准分子激光气28000瓶/年（其中193波长激光气0.95%F₂+3.5%Ar+Ne 2400瓶/年，13.5%Ar+10ppmXe+Ne 12400瓶/年；248波长激光气0.95%F₂+1.25%Kr+Ne 2400瓶/年；308波长激光气4.5%HCl+1%H₂+Ne 2400瓶/年，0.5%HCl+Ne 2400瓶/年，100ppm-10%H₂+Ne 6000瓶/年）；

3、分装：二氧化碳10000吨/年、液氮/氮气3000吨/年、液氩/氩气3000吨/年、液氦/氦气50吨/年；

4、设备配套：超洁净钢瓶年处理20000只/年；

根据《环境影响评价公众参与办法》，现将项目环评报告及公众参与说明（见附件）进行报批前公示。

二、建设单位及联系方式

建设单位：合肥先微半导体材料有限公司

联系电话：18855771303

联系人：孙总

联系地址：合肥新站高新技术产业开发区珠城西路与通宝路交口西北角

三、环评单位及联系方式

评价机构：合肥市斯康环境科技咨询有限公司

联系方式：0551-65614551

联系人：高工

联系地址：安徽省合肥市包河经开区北京路与大连路交口安徽检验检测科技园（质谷孵化器二期）6#楼501室

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